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直線電機驅(qū)動運動平臺
最后更新:2010-06-28
關(guān) 注 度:19351
生產(chǎn)企業(yè):北京慧摩森電子系統(tǒng)技術(shù)有限公司
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產(chǎn)品詳細介紹

公司自主研制的0.1微米級精密運動平臺及集成控制系統(tǒng)是微電子制造和測試設(shè)備的核心部件,也是生物醫(yī)療設(shè)備和精密制造業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵部件,這些產(chǎn)品在以上領(lǐng)域的應(yīng)用可以極大提高我國的制造水平,縮小和先進國家的差距。
此類平臺是以下行業(yè)的關(guān)鍵部件:
  ◇半導(dǎo)體、集成電路封裝測試裝備
  ◇生物工程科研設(shè)備
  ◇醫(yī)療診斷儀器設(shè)備
  ◇精密微型制造機械(MEMS)
高精度空氣軸承(Air Bearing)平臺性能指標(biāo)
  ◇分辨率: 10 nm (納米)
  ◇重復(fù)性精度 : 50 nm
  ◇定位精度: 0.1 micron(微米)
  ◇最大加速度 :
  ◇最大速度: 500 mm/sec(毫米/秒)
  ◇設(shè)計行程:
高精度、高動態(tài)直線軸承平臺(Cross Roller)性能指標(biāo)
  ◇分辨率 : 50 nm (納米)
  ◇重復(fù)性精度 : 250 nm
  ◇定位精度 : 1 micron(微米)
  ◇最大加速度 : 16 Gs(重力加速度)
  ◇最大速度 : 2000 mm/sec(毫米/秒)
  ◇行程 : <= 100x100 mm^2,因設(shè)計要求不同而可以定制
 

北京慧摩森電子系統(tǒng)技術(shù)有限公司
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