產(chǎn)品詳細(xì)介紹特點(diǎn) 低噪聲,直流電驅(qū)動(dòng) 隔離套裝實(shí)現(xiàn)PA級(jí)電信測(cè)試精度 隔絕水循環(huán)保護(hù)chuck底座 可以在絕大多數(shù)探針臺(tái)上加裝 易于裝卸 規(guī)格 真空吸附載物臺(tái)的尺寸 4, 6, 8,英寸直徑,1英寸厚度 Chuck 平整度 + -10 微米 控溫范圍 常溫到300攝氏度 控溫精度 0.1℃ 溫度穩(wěn)定度 +- 1% 從25 ℃開(kāi)始升溫時(shí)間 100 ℃ 150 ℃ 200 ℃ 300 ℃ (4 英寸chuck,單位為 分鐘:秒 ) 1:00 2:30 3:00 4:30 電源 直流 材質(zhì) 不銹鋼 需求 供電 220 VAC, 60Hz 電力消耗 4英寸chuck 700W 6英寸chuck 1000W 8英寸chuck 1500 W 真空 -250 mmHg, 7 liter/min 循環(huán)水 20 Liter/Min 尺寸 控制器 350mm長(zhǎng) x 300mm寬 x 150mm高 重20 Kg 附件 高溫配件,可以升溫至300 ℃, 400 ℃, 500 ℃, 600 ℃, 700 ℃ 低溫配件,可以冷卻至5 ℃, -50 ℃, -65 ℃, 或者低溫至-196 ℃ 用于其他品牌探針臺(tái)的安裝轉(zhuǎn)接口 方形chuck 更高溫度控制精度 更高溫度均勻性 加速升溫配件 水冷箱 更低電流測(cè)試用的屏蔽裝置 真空腔體 測(cè)試屏蔽腔體 真空吸附的chuck 鍍金的chuck 鍍鎳的chuck |